あれ、6500 が Fault になっているぞ…ということでステータスを確認すると

なにやら、ターボポンプが Auto-tuning になっている。https://community.agilent.com/technical/vacuum/f/forum/7866/varian-turbo-v-301-system-fault-s1-overtime このあたり見ると、高い負荷がかかっているときにおこるらしい。 続きを読む